半導体製造装置関連 KAT株式会社

半導体製造業装置関連消耗部材及びメンテナンス事業

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BROOKS ROBOT BODY & ARM

AMAT P-5000 ROBOT 

HAIHEN(Asyst Mecs)
UTX-FS5500 & controller CS7100

BROOKS ROBOT O/H 

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BROOKS ROBOT BODY & ARM O/H 

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AMAT P-5000 ROBOT 

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DAIHEN(Asyst Mecs)
UTX-FS5500 ROBOT & controller CS7100

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    P5000 ROBOT

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    MFC,LFC

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    Controllers

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    ROBOT

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    ARM

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    RF電源

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    MOTOR、ACTUATOR

  • ソケット

    SOCKET

  • 基盤

    BOARD

  • ICチップ

    IC CHIP