半導体製造装置関連 KAT株式会社

WJ-999,WJ-1000　
６インチ、８インチ

986665-001/918045-001　　SHIELD,N2,WJ-999- APL(6"TR)
929345-001　　　　　　　　SHIELD,N2,VR-TR,WJ-999 -WPL(6"VR)
929342-001/918042-001　　WJ-1000 8INCH VR-TR N2 SHIELD
918043-001/929343-001　　WJ-999 8" VR-TR N2 SHIELD(SHORT LEG)
997629-001/998564-001　　P9Y Injector Screen 大
997629-001/998563-001　　P9Y Vent Screen 中
998089-001/998562-001　　P9Y Bypass Screen 小
911626-001/911627-001　　WJ-999 12" SPIDER(UPPER LOWER) SET
913416-001　　　　　　　　WJ-999 MONOBLOCK Assy
909885-001　　　　　　　　WJ1000 Return Shuttle Cable
909189-001　　　　　　　　Cable Control Robot- APL (Manipulator Cable)
912584-006　　　　　　　　WJ1000 REACTANT GAS LINE 43HOLE
911626-001　　　　　　　　WJ999 12" Spider Upper
911627-001　　　　　　　　WJ999 12" Spider Lower

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